| CV-2100系列 輪廓測定機 | |||
| 型號 | CV-2100M4 | CV-2100N4 | |
| 量測範圍 | X軸 | 100 mm | |
| Z1軸(檢出器) | 50 mm | ||
| Z2軸移動範圍(立柱) | 350 mm | --- | |
| X軸傾斜角度 | ± 45 ° | --- | |
| 解析度 | X軸 | 0.1 μm | |
| Z1軸 | 0.1 μm | ||
| 驅動方式 | X軸 | 馬達驅動 ( 0~20 mm/s) | |
| Z1軸(立柱) | 手動 ( 快速上下移動、微動) | --- | |
| 量測速度 | 0.02 ~ 5 mm/s | ||
| 線性精度 ( X軸水平方向) | 2.5 μm / 100 mm | ||
| 精度 (20°) | X軸 | ± ( 2.5+0.02L ) μm L : 量測長度 ( mm ) | |
| Z1軸 | ± ( 2.5 + ∫0.1H∫ ) μm H : 從水平位置測定的高度，在 ± 25 mm以內 | ||
| 測定方向 | 拉推兩方向 | ||
| 測定面方向 | 向下 | ||
| 測定力 | 30 ± 10 mN ( 3gf ) | ||
| 測針追蹤角度( 標準測針時) | 片角測針SPH-71 : 上升77° 下降87° (依據表面狀態) | ||
| 外觀尺寸 (mm) | W | 745 | 651 |
| D | 450 | 143 | |
| H | 885 | 138.5 | |
| 重量 (kg) | 145.8 | 5.8 | |